Объявлены тендеры на опытно-конструкторские работы для создание техпроцессов выпуска чипов

07.07.2023 13:04

Минпромторг разместил 4 тендера на оказание услуг на осуществление опытно-конструкторских работ (ОКР) на создание технологий выпуска микросхем. На это обратил внимание телеграм-канал "Телеком-ревью". Сведения о конкурсе опубликованы на портале госзакупок. 

Проекты по ОКР будут реализованы в рамках госпрограммы "Научно-технологическое развитие РФ". Окончание подачи заявок во всех 4 тендерах — 17 июля текущего года.

В рамках проекта "Прогресс-Ретушь" предусматривается постановка технологического процесса устранения недопустимых дефектов на фотошаблонах в производстве чипов 90-65 нм. Также исполнитель должен выполнить работы по разработке и освоению лазерного устранения дефектов. Начальная цена контракта составляет 1,16 млрд рублей.

Для этих же микросхем объявлен тендер "Прогресс-Контроль". Исполнителю предстоит разработать и внедрить в производство контроль координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах. Начальная цена — 1,41 млрд рублей.

Еще один проект — "Горизонт-ЭХО", начальная цена которого 800 млн рублей. Он предусматривает разработку и изготовление опытных образцов установок электрохимического осаждения для обеспечения серийного производства микроэлектроники на пластинах 100 мм/4 дюйма и 200 мм/90 нм.

В ходе выполнения опытно-конструкторских работ в трех проектах должны быть выполнено следующее:

  • разработан эскизный проект установки;
  • разработаны конструкторская, технологическая и эксплуатационная документации;
  • изготовлены два опытных образца; 
  • разработаны технологические процессы необходимых работ;
  • совместно с заказчиком проведены приемочные испытания опытного образца
  • получено заключение предприятия-потребителя по уровню параметров и применяемости разработанной установки;

Также объявлен тендер (шифр "Нежность") на разработку и изготовление линейки установок для одно- и двухстороннего шлифования и полировки полупроводниковых пластин. Цена составляет почти 1,76 млрд рублей. 

В ходе выполнения работы должны быть выполнены эскизное и техническое проектирование, разработка рабочей конструкторской документации, изготовление инженерно-исследовательского модуля, опытное изготовление образцов, подтверждение технических решений и их конструкторской реализации путем проведения испытаний опытных образцов. Срок выполнения работ, согласно описанию объекта, — 4 года.